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合肥市纳诺半导体有限公司,坐落于高新区中安创谷科技园二期,公司致力于半导体晶圆芯片关键量检测设备的国产化。公司给国内FAB厂提供前道制程缺陷检测和良率控制的解决方案,助力中国半导体先进制造核心量检测技术的自主可控。合肥市纳诺半导体有限公司的全资子公司包括“江苏三米科思半导体设备有限公司”、“北京三米科思半导体设备有限公司”、和“上海臻驭半导体设备有限公司”。公司是中科大校友创业企业,创始人CEO是...

  • DFI产品介绍

    产品使用DUV波长激光,具有斜入射照明和垂直照明两种照明模式,带有功率控制和不同偏振态的控制;采用三通道采集光路,每个光路配置多种偏振角度选择,成像采用了具有超...

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  • SFS产品介绍

    无图形晶圆缺陷检测设备,可应用于7nm逻辑和先进存储器设计节点的生产制造。该设备采用先进DUV光源,具备1Xnm的缺陷检测灵敏度,具有领先的产率,可适应先进制程...

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  • BFI产品介绍

    可见光晶圆缺陷检测及复查设备基于高精度光学成像系统与深度学习算法,可快速定位微米级划痕、颗粒残留、图形畸变等缺陷,支持多维度数据比对与智能分类。通过自动化复检流...

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        ▶合肥市纳诺半导体有限公司

        地址:安徽省合肥市高新区望江西路920号中安创谷二期J3栋101/102室

        ▶江苏三米科思半导体设备有限公司

        地址:江苏省常州市天宁区华阳南路26号检验检测产业园5栋101室